熱式質量流量計(控製器)使用中注意事項

(1)儀表使（shǐ）用時,使用環境應滿足說明書（shū）中（zhōng）規定的環境條件和使用攏術規定,流ZUI大值應在所選儀表程的規定範圍（wéi）內。

(2)為了保證 MFM/MFC可緣工作和（hé）維護使用（yòng）方便,儀表使用時應配套安裝適當截止（zhǐ）、過濾器,幹燥器、單向、減壓器和背壓等。

(3)由於該儀表容易發生堵塞現象,所以使用中要經常（cháng）啟用“清（qīng）洗”過程（chéng）和定期清洗配套過濾器。

(4)使（shǐ）用中進行（háng）“清洗”操作時,“清洗（xǐ）”結東,不要（yào）直接轉入“閥控”位,應先（xiān）置於“關閉位覺,然後,再轉至“控”位。

(5)對於反應係統,建議在 MFM/MFC入口處加（jiā）裝過濾器,出口端加裝單向（xiàng）層（céng）,以防止異常情況發生時,液體反應（yīng）物倒流至儀表（biǎo）內（nèi）使其損壞。

(6)對於常壓係統,一般選（xuǎn）擇減（jiǎn）壓器和過濾（lǜ）器與（yǔ）其配套,以便保證儀（yí）表可運行（háng）和控精度（dù）。

(7)對於（yú）高壓（yā）係統,應在 MFM//MFC的上遊加裝減壓閥、過濾（lǜ）器,下遊加裝背壓閿(或其他節流裝)及壓力表,以便保證（zhèng） MFM/MFC應有（yǒu）的工作壓差。

(8)對於矽（guī）烷這樣的遇空氣易形成結晶的氣體,應特別注意係統的密閉性(檢漏時,不要忽視減壓器),必（bì）要時設計上吹洗旁路,以便進行氮氣吹洗或正壓保待。

(9)對有高頻源的係（xì）統,應注意屏慧,並做好接地,一般選擇單點接地為宜。

(10)對於高真空係統,應盡量減少氣略接頭,對須有的（de）接頭,要嚴格密（mì）封（fēng）或采用VCR等接頭

(11)對於 MFM/MFC的安裝位置,應盡景選擇（zé）水平位置、並且安裝（zhuāng）麵要水平、安裝位置要易於（yú）裝卸、檢、調零。安裝時要盡量避免受（shòu）到撞擊,安裝固定要（yào）安（ān）全可靠。

(12)使（shǐ）用中,如果工藝係統複雜或使用特殊氣體,儀表的測控係統啟用應建立專用的（de）操作規程。

(13)使用中若發現儀表（biǎo）零點偏移（yí）時、可（kě）通過（guò）外罩上的調（diào）零孔調整,也可揭開外罩調整,但量程調整電位器不得輕易調整。

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